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最新产品 > 样品处理设备 > 清洗/消毒设备 > 等离子清洗器>德国普发拓普 PS 800微波等离...

更新时间:2024-05-02 07:20:41 点击:508次

产品型号 PS 800
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 等离子清洗器
品牌 返回顶部 德国普发拓普
产地 返回顶部
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技术参数
功率 返回顶部 1600w
反应室尺寸 返回顶部 直径296mm
工作频率 返回顶部 2.45GHz
反应室材质 返回顶部 陶瓷
仪器重量 返回顶部 300kg
仪器尺寸 返回顶部 740x2100x1140 mm
其他信息
产品简介

这是一个配备了快速装样系统和陶瓷等离子体处理室的,用于200mm晶圆的尖端的、高生产率的系统。如同300系列一样,PS 800也是去除光刻胶或其它晶圆清洁处理的完美解决方案。一体化的晶圆操作单元允许从盒子里同时装载25块晶圆。其紧凑的尺寸确保占用最小的洁净室空间,该电脑控制的系统的运行费用 也非常有吸引力地低。

 
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