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最新产品 > 样品处理设备 > 清洗/消毒设备 > 等离子清洗器>德国普发拓普  PS 4008...

更新时间:2024-04-26 14:27:13 点击:342次

产品型号  PS 4008
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 等离子清洗器
品牌 返回顶部 德国普发拓普
产地 返回顶部
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技术参数
功率 返回顶部 1600w
反应室尺寸 返回顶部 410 x 140 x 410 mm
工作频率 返回顶部 2.45GHz
反应室材质 返回顶部
仪器重量 返回顶部 550 kg
仪器尺寸 返回顶部 850 x 2000 x 1300 mm
其他信息
产品简介

PS 4008设计用于剥离相当坚硬的或难剥离的材料,如SU-8环氧光刻胶。直接微波等离子体设计来自于PVA TePla公司在光刻胶剥离和平板显示器工艺方面的综合经验.直接微波等离子体在保证基体温度较低的同时允许很高的剥离率。

PS 4008 配置了大面积的直接微波等离子体源,一个带温度控制的基片架,可以制作成与氟化物全面兼容的设备。最大的基片尺寸可以是300X300毫米。

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