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最新产品 > 样品处理设备 > 清洗/消毒设备 > 等离子清洗器>德国普发拓普 PS 400 I...

更新时间:2024-04-24 05:20:31 点击:495次

产品型号 PS 400 IL
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 等离子清洗器
品牌 返回顶部 德国普发拓普
产地 返回顶部
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技术参数
反应室尺寸 返回顶部 400 x 400 x 400 mm
功率 返回顶部 1000w
反应室材质 返回顶部
工作频率 返回顶部 2.45GHz
仪器重量 返回顶部 160kg
仪器尺寸 返回顶部 930 x 1,000 x 800 mm
其他信息
产品简介

在线式微波等离子体系统ps 400是全世界芯片封装领域内最通用的等离子体清洗机。我们独特的微波等离子体工艺应用领域广泛,包括在金线键合、成型和倒装芯片底部填充之前的清洗以及对整个晶圆的清洗(直到12英寸)。具备无电极能量传递和等离子体发生器的400/660在线系统提供了无法超越的适应性。这种无电极能量耦合对于下游工艺中的装于封闭的、无槽盒子内的基片处理是很关键的。

开槽盒子可以在一个旋转平台上得到完美的处理。

另外,ECR模式是这种等离子体系统的额外功能。

作为生产工具,在线微波等离子体系统400和660提供了很高的生产率,并可用于360度全方位的芯片封装中。

这种设备以其高度的用户友好界面,易于操作的平台而引人瞩目。400/660等离子体系统可提供铰链式开门或抽屉式开门。

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