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更新时间：2025-12-27 23:20:05 点击：442次

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技术参数

产品型号

SU1510型

参考报价

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基本规格

产品类型

返回顶部扫描电镜

品牌

返回顶部日本日立

产地

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技术参数

分辨率

返回顶部二次电子分辨率 3.0nm（高真空，30kV）背散射电子分辨率 4.0nm(低真空：6Pa，30kV）

放大倍数

返回顶部 5～300,000倍

最大样品尺寸

返回顶部直径：153 mm

加速电压

返回顶部 0.3～30 kV

样品台移动范围

返回顶部 X 0～80 mm Y 0～40 mm Z 5～50 mm T -20°～ 90° R 360°

其他信息

产品简介

日立扫描电子显微镜SU1510型的主机宽度仅为55cm体型小巧，具有3.0nm分辨率的高性能可变压力扫描电镜。

一、日立扫描电子显微镜SU1510型的特点
1. 仪器主体比过去减小20%，可以更加自由地选择安装场地。
2. 标配低真空功能，可以对不导电进行无喷涂观察。高低真空转换一键完成。
3. 可载入最大直径153mm，高度为60mm(WD=15mm)的样品，并进行元素分析。
4. 强大的鼠标控制功能，可实现电镜的所有操作。
5. 分子泵真空系统，洁净无污染。

二、日立扫描电子显微镜SU1510型的技术规格：

项目	内容
二次电子分辨率	3.0nm（高真空，30kV）
背散射电子分辨率	4.0nm(低真空：6Pa，30kV）
倍率	5～300,000倍
加速電圧	0.3～30 kV
样品台	X 0～80 mm Y 0～40 mm Z 5～50 mm T -20°～ 90° R 360°
样品台控制	手动（可选：2轴马达）
最大载入样品尺寸	直径：153 mm
最大观察范围	直径：126 mm（XYR并用）
最大样品高度	60 mm（WD=15 mm）
低真空范围	6-270Pa(从菜单设定)
灯丝	预对中钨灯丝
物镜光阑	4孔可变光阑
枪偏压	固定比例偏压、手动偏压和自动4偏压
检测器	二次电子检测器，高灵敏度半导体背散射电子检测器
EDX分析位置	WD=15,TOA=35°
真空系统	分子泵1台，机械泵1台
安全措施	停电，漏电，自动保护

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