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更新时间:2024-05-06 00:56:09 点击:474次

产品型号 CX-200TA
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 扫描电镜
品牌 返回顶部 韩国/COXEM
产地 返回顶部 韩国
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技术参数
分辨率 返回顶部 3.0nm(30kV,SEI)10nm(3KV,SEI) 4.0nm(30kV,BSEI)
放大倍数 返回顶部 10x~300,000x
图片格式 返回顶部 JPG,TIFF,BMP
样品台移动范围 返回顶部 X:65㎜,Y:40㎜,Z:5~65㎜,T:-20°~+90°,R:360°
最大样品尺寸 返回顶部 160mm(直径)X 71mm(高度)
加速电压 返回顶部 0.5kV~30kV
仪器重量 返回顶部 350㎏
仪器尺寸 返回顶部 77(W)x88(D)x150(H)㎝, 电脑桌:任意
其他信息
产品简介


性能指标: 
分辨率:3.0nm(30kV,SEI)10nm(3KV,SEI) 
            4.0nm(30kV,BSEI) 
放大倍数:10x~300,000x
加速电压 0.5kV~30kV 
电子枪:三级自给偏压,偏压电阻可自动/手动调节,预对中发叉式钨丝阴极 
透镜系统:2个聚光镜,1个物镜 
物镜光阑:4孔可变光阑,摇摆对中合轴 
图像电位移和电旋转:±50μm(WD:10㎜);0-360°无限 
样品室:内径φ210mm,可接配EDS,BSE,WDS. 
样品台及行程:计算机导航全自动机械对中样品台 
             X:65㎜,Y:40㎜,Z:5~65㎜,T:-20°~+90°,R:360° 
最大样品尺寸:160mm(直径)X 71mm(高度) 
操作系统:PC机控制,Windows7,21.5英寸彩显,GUI操作软件嵌入多种图像实时分析测量工具,鼠标键盘操作 
自动功能:自动聚焦,自动亮度对比度,自动消象散,自动饱和,自动对中,自动偏压电阻。 
视频分辨率及帧频:选区模式:320 x 240像素   30帧/秒
                 TV 模式:640 x 480像素     10帧/秒
                 慢扫描模式:800 x 600像素(3档速度) 
                 扫描模式:1200 x 600像素(SE BSE 双信号) 
                 照相模式:1280 x 960,2560 x 1920,5120 x 3840像素 
                 示波器模式 
图像格式 JPG,TIFF,BMP 
语言英语 
真空系统:带安全防护的自动高真空系统,样品室处真空度优于7.5x10-5 Torr,真空度实时显示。
         涡轮分子泵260升/秒+旋片式机械泵100L/min 
总功率:2KW
外形尺寸和重量: 
主机:77(W)x88(D)x150(H)㎝,350㎏ 
电脑桌:任意

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技术创新 主要特点: 中型样品分析室,可接配多种分析附件 五轴全自动样品台 涡轮分子泵真空系统,无需冷却循环水机 低真空环境模式,绝缘样品可直接观察 全数字化电器,结构紧凑,移动方便
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