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更新时间:2024-05-06 02:14:56 点击:511次

产品型号 CX-100S
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 扫描电镜
品牌 返回顶部 韩国/COXEM
产地 返回顶部 韩国
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技术参数
分辨率 返回顶部 3.5nm (30KV, SE image) 4.0nm(30KV,BSE image)
放大倍数 返回顶部 30X ~300,000X(WD=5mm)
图片格式 返回顶部 JPG 、BMP、TIFF等
样品台移动范围 返回顶部 X: 60 mm, Y: 40 mm, Z: 5~50 mm, T: -20°~90°, R: 360°
加速电压 返回顶部 0.5KV ~ 30KV
电源 返回顶部 主机电器控制部分 单相220~250V交流 50/60Hz 2KW 稳定度 小于5%
工作环境 返回顶部 环境 温度 15-30°C 湿度 小于等于70 %
仪器尺寸 返回顶部 主 机: 77(W)x88(D)x150(H)㎝, 310㎏ 操作桌: 85(W)x80(D)x70(H)㎝, 10㎏
其他信息
产品简介

主要参数
分辨率:3.5nm (30KV, SE image)
               4.0nm(30KV,BSE image)
放大倍数:30X ~300,000X(WD=5mm)
加速电压:0.5KV ~ 30KV
电子枪:W灯丝,预对中
聚光镜:2级电磁透镜
物镜:圆锥形电磁透镜
物镜光阑:4个可变孔径光阑,(30um, 50um, 100um, 200um),摇摆对中
样品室:内部尺寸?210mm X280mm,可接配EDS,BSE,WDS,
样品台:五轴手动/自动,机械对中样品台
样品台行程: X: 60 mm, Y: 40 mm, Z: 5~50 mm, T: -20°~90°, R: 360°
操作控制:USB/PCI接口的PC机控制,基于WindowsTM的GUI操作软件,鼠标键盘操作,允许用户自定义热键操作,19英寸彩色显示器。
语言:英语
图像扫描模式:全屏和选区
图像位移:±20um(WD=5mm)
最大图像像素:2560 x 1920 pixel
图像格式:JPG 、BMP、TIFF等
软件功能:实时直方图显示,多种几何参数测量工具,图像注释编辑,一键报告
真空系统:两级全自动涡轮分子泵系统(210 liters/sec)
外形尺寸和重量: 主 机: 77(W)x88(D)x150(H)㎝, 310㎏
                              操作桌: 85(W)x80(D)x70(H)㎝, 10㎏
电源                       主机电器控制部分 单相220~250V交流 50/60Hz 2KW 
                              稳定度 小于5%
地线 独立地线1条,小于等于100Ω
环境
温度 15-30°C
湿度 小于等于70 %
交流磁场 小于等于0.3 uT
地面振动 5 um/sec Max. @ < 5~10Hz
门宽 900mm或更宽

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