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更新时间：2024-05-02 14:44:00 点击：673次

产品简介
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技术参数

产品型号	VEGA 3 XMH
参考报价	返回顶部面议
基本规格
产品类型	返回顶部扫描电镜
品牌	返回顶部 TESCAN
产地	返回顶部
	返回顶部我来纠错（有奖）
技术参数
放大倍数	返回顶部 1.5x-1,000,000x
分辨率	返回顶部 3.0nm(30kV),8.0nm(3kV)/ 选配六硼化镧 2.0nm(30kV),5.0nm(3kV)
最大样品尺寸	返回顶部样品高度最大145mm
加速电压	返回顶部 200V至30KV
样品台移动范围	返回顶部 X=130mm —— 马达驱动 Y=130mm ——马达驱动 Z=100mm —— 马达驱动旋转：360°连续可调——马达驱动倾斜：-30°到+90°——马达驱动
真空度	返回顶部＜9×10-3Pa
其他信息
产品简介	分辨率高真空(二次电子) 低真空(背散射电子) 3.0nm(30kV),8.0nm(3kV)/ 选配六硼化镧 2.0nm(30kV),5.0nm(3kV) / 工作真空高真空低真空＜9×10-3Pa / 电子光学工作模式分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样放大倍率 1.5x-1,000,000x 加速电压 200V至30KV 电子枪钨灯丝/六硼化镧探针电流 1pA至2μA 扫描速度从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续调整聚焦窗口形状、尺寸和位置连续可调扫描特性动态聚焦，聚焦窗口，点和线扫描，倾斜校正，实时三维图像图象尺寸最大可达8192×8192像素，图象比例可选1：1、4：3或2：1。显微镜控制通过计算机（键盘、鼠标、轨迹球）操作VEGA TC软件，所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现自动程序实时电子束追踪优化，束斑直径优化放大倍数，聚焦&消象散，对比度&亮度，扫描速度（根据信噪比），灯丝饱和调整，电子枪对中，光阑&透镜对中，真空控制，加速电压的补偿，灰度等级调整远程控制通过TCP/IP 样品室内部尺寸 300mm宽×330mm深门宽 280mm宽×310mm深接口数量 12+ 样品室减振方式气垫（可选配内置主动式电磁减振） + 可根据客户需求调整接口数量和位置。样品载台类型全电脑化优中心移动范围 X=130mm —— 马达驱动 Y=130mm ——马达驱动 Z=100mm —— 马达驱动旋转：360°连续可调——马达驱动倾斜：-30°到+90°——马达驱动样品高度最大145mm 返回顶部
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