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最新产品 > 物理分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜>泰思肯 可变真空电镜及能谱...

更新时间:2024-04-18 15:54:16 点击:515次

产品型号 VEGA 3 SBU-EasyProbe
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 扫描电镜
品牌 返回顶部 泰思肯
产地 返回顶部
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技术参数
分辨率 返回顶部 高真空(二次电子) : 3.0nm(30kV),8.0nm(3kV);低真空(背散射电子) : 3.5nm(30kV)
放大倍数 返回顶部 4.5x-1,000,000x
真空度 返回顶部 高真空 : <9×10-3Pa ;低真空:3-500Pa(可选配2000Pa)
加速电压 返回顶部 200V至30KV
其他信息
产品简介 分辨率
高真空(二次电子)
低真空(背散射电子)    

3.0nm(30kV),8.0nm(3kV)
3.5nm(30kV)
工作真空
高真空
低真空    
<9×10-3Pa
3-500Pa(可选配2000Pa)
电子光学工作模式    分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样
放大倍率    4.5x-1,000,000x
加速电压    200V至30KV
电子枪    钨灯丝
探针电流    1pA至2μA
扫描速度    从20ns/pixel至10ms/pixel,可逐步或连续调整
聚焦窗口    形状、尺寸和位置连续可调
扫描特性    动态聚焦,聚焦窗口,点和线扫描,倾斜校正,实时三维图像
图象尺寸    最大可达8192×8192象素,图像比例可选1:1、4:3或2:1
显微镜控制    通过计算机(键盘、鼠标、轨迹球)操作VEGA TC软件,所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现
自动程序    实时电子束追踪优化,束斑直径优化放大倍数,聚焦&消象散,对比度&亮度,扫描速度(根据信噪比),灯丝饱和调整,电子枪对中,光阑&透镜对中,真空控制,加速电压的补偿,灰度等级调整
远程控制    通过TCP/IP
 样品室
内部尺寸    Ф160mm
门宽    120mm
接口数量    10
样品室减振方式    机械减振
 样品载台
类型    3轴马达控制

移动范围    
X=45mm——马达控制
Y=45mm——马达控制
Z=27mm——手动控制
Z=6mm——手动控制
旋转:360°连续可调——马达控制
倾斜:-90°到+90°——手动控制
 
样品高度    最大36mm
    
 能谱规格
能谱分辨率    133eV(Mn Kα)
探头类型    XFlash 探头410M, SDD
探头制冷    Peltier耦合,无需液氮
探测范围    从B(5)到Am(95


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