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最新产品 > 计量仪器 > 力学计量仪器 > 真空计>德国INFICON SKY 电容式隔膜真空...

更新时间:2024-04-25 03:24:36 点击:274次

产品型号 CDG160D/CDG200D
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 真空计
品牌 返回顶部 德国INFICON
产地 返回顶部 德国
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技术参数
测量范围 返回顶部 1 Torr 至 1000 Torr
其他信息
产品简介

INFICON SKY CDG160D 和 CDG200D 高温压力计是实现精确总压测量与控制的理想之选。 CDG160D 和 CDG200D 真空计温度分别控制在160 o^ C 和 200 ^o C,具有卓越的性能,适用于苛刻的半导体和等离子过程。 在 1 Torr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用,带有所有常用类型的法兰和现场总线接口,能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的对数压力信号。 INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜,具有防腐蚀性。 陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。 INFICON CDG 压力传感器品质卓越,极具成本效益,适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。

优势

    拥有成本更低,预热速度快 50%,节能,低功耗
    易于集成,各种满刻度、法兰和接口,标配两个设定点
    轻松一键归零或远程信号归零指令,可调零点偏移
    诊断端口便于快速服务与维护
    两年保修服务,采用高温加热概念和真空计保护,延长了使用寿命
    卓越的信号稳定性和可重复性,即使是最严苛的等离子应用,都无需长期执行重新校准
    合规性和标准: CE、EN、UL、SEMI、RoHS


应用

    蚀刻、CVD、PVD、LPCVD 及其他半导体生产过程
    化学和腐蚀性高温过程
    需要真空计保护的一般薄膜和真空过程

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