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最新产品 > 计量仪器 > 力学计量仪器 > 真空计>INFICON SKY 电容式隔膜真空计 All...

更新时间:2024-04-18 12:35:37 点击:289次

产品型号 AllCeramic CDG160A-C / CDG160A-CS
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 真空计
品牌 返回顶部 德国INFICON
产地 返回顶部 德国
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技术参数
其他信息
产品简介

INFICON SKY AllCeramic CDG160A-C 是唯一专为高要求应用(例如氧化、扩散和 LPCVD)而设计的完全无金属 160 °C 温控电容式真空计。 所有暴露于真空的表面(例如管件、等离子屏蔽和污染防护罩)都包含防腐蚀超纯氧化铝陶瓷,使真空计不会受到潜在的金属污染。

INFICON SKY AllCeramic CDG160A-C 融合了 INFICON CDG160A 系列真空计成熟的传感技术,可为 LPCVD 及其他苛刻的半导体制造应用提供可靠且可重复的性能。

优势

    无金属超纯陶瓷设计避免金属污染
    温度控制在 160 o C,可防止过程产品和副产品发生冷凝现象
    紧凑型设计可节省宝贵的空间,简化工具集成
    高环境温适应性
    增强的粒子保护腔室另外还带有防护罩 (Suprashield),降低了真空计的污染概率
    独特的陶瓷传感器设计具有卓越的长期稳定性,可提供可重复和准确的测量
    可选设定点和状态指示提供附加控制和安全功能


应用

    氧化、扩散和 LPCVD 过程
    其他无金属真空测量要求

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