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最新产品 > 计量仪器 > 力学计量仪器 > 真空计>INFICON Bayard-Alpert Pira...

更新时间:2024-04-23 01:06:26 点击:280次

产品型号 BPG400
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 真空计
品牌 返回顶部 德国INFICON
产地 返回顶部 德国
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技术参数
测量范围 返回顶部 5 x 10 -10 mbar 至大气气压(3.8 x 10 -10 Torr 至大气气压)
其他信息
产品简介

INFICON Bayard-Alpert Pirani 复合真空计 BPG400 将 Bayard-Alpert 和 Pirani 两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中,测量范围为 5 X 10 -10 mbar至大气气压(3.8 x 10 -10 Torr 至大气气压)。 多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。 为负担不重且可重复的过程选择 BPG400,以经济高效的方式执行基本压力测量。

优势
*从 5 x 10 -10 mbar 至大气气压(3.8 x 10 -10 Torr 至大气气压)的极其宽泛的测量范围

    10 -8 - 10 -2 mbar 过程压力范围内低至 5% 的 优良的可重复性
    Pirani 联锁保护 Bayard-Alpert 系统在高压操作下丝极过早烧毁和过度污染
    长使用寿命氧化钇铱丝
    备有可选的图形显示器和现场总线接口
    高真空Pirani 自动调节,减少操作员的干预


应用

    对半导体过程和传输腔室的压力测量
    工业镀膜
    低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制

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