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更新时间:2024-04-25 23:10:45 点击:350次

产品型号 HPG400
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 真空计
品牌 返回顶部 德国INFICON
产地 返回顶部 德国
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技术参数
测量范围 返回顶部 2 X 10 -6 至大气气压(1.5 X 10 -6 至大气气压)
其他信息
产品简介

INFICON 高压热电离 Pirani真空计 HPG400 将高压热电离技术与 Pirani 传感器整合在一个体积小、价格低的规管中,可测量 2 X 10 -6 至大气气压(1.5 X 10 -6 至大气气压)范围内的压力。 HPG400 提供高可重复性和再现性压力测量,实现精确控制镀溅过程压力。

优势

    HPG400 可节省成本和工具空间,降低真空系统的安装与设置的复杂性
    高压热电离真空计可以准确可靠地测量 1 X 10 -5 至 1 mbar 范围内的压力, 进而改善过程控制
    用户可选的热电离发射在 5 X 10 -2 至 1 mbar 之间启动
    Pirani 联锁保护丝极,防止过早烧毁
    备有可选的图形显示器和现场总线接口
    高真空Pirani 自动调节,减少操作员的干预


应用

    半导体制造、电子工业和媒体工业中的溅镀应用
    工业镀膜
    低真空至高真空范围内的一般真空测量和控制

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