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最新产品 > 计量仪器 > 力学计量仪器 > 真空计>MKS 微皮拉尼真空计 925系列

更新时间:2024-04-24 10:49:32 点击:495次

产品型号 925系列
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 真空计
品牌 返回顶部 美国MKS
产地 返回顶部 美国
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技术参数
测量范围 返回顶部 10ˉ5Torr 到大气压
通讯接口 返回顶部 RS232或RS485
其他信息
产品简介

产品简介
MKS 925系列微皮拉尼真空计,是基于一个以微电子机械系统的热量传导型的真空传感器,925真空计可以用于真空压力测量和提供模拟电压输出,数字通讯和用于工艺控制的中继点。

应 用:
MKS925真空计可以使用于半导体工业的分析和镀膜工艺上的测量。
● 一般的真空压力测量
● 前极管路和低真空的测量
● 气体的充填测量和控制
● 质谱仪器的控制
● 超高真空计的启动
● 工艺系统的控制
● 控制系统的压力

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用户数 返回顶部 此仪器尚未有用户数
技术创新 ● 压力测量范围在10ˉ5Torr 到大气压,大于普通的皮拉尼真空计2个测量等级 ● 3个用于工艺控制的中继点(选择性) ● 超精致的设计 ● 为工艺控制提供高的测量精度 ● 模拟的输出和数字通讯(RS232或RS485)提供了简便的操作 ● 可以抵御大气冲击和振动 ● 可以方便地安装于任何方向,没有任何测量精度的损失 ● 可以替代任何供应商的真空计和设施的升级 ● 符合欧洲CE,EMC标志
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