白光干涉仪的检测应用 结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜，结合显微物镜与干涉仪，不需要复杂的光路调整程序，兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点，可提供垂直扫描高度达400μm之微三维量测，适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测。应用领域包含： ·晶圆（Wafer） ·光盘/硬盘（DVD Disk/Haed Disk） ·微机电组件（MEMS Components） ·平面液晶显示器（LCD） ·高密度线路印刷电路板（HDI PCB） ·IC封装（IC Package） ·以及其他材料分析与组件微表面研究
高速精密的干涉条纹解析软件（ImgScan） ·系统硬件搭配ImgScan前处理软件自动解析白光干涉条纹。 ·垂直高度分辨率可达0.1nm。 ·高速的分析算法则，让您不在苦候量测结果。 ·垂直扫描范围的设定轻松又容易。 ·10×，20×与50×倍率的物镜可供选择。 ·平台X、Y、Z位置数显式显示，使检测标的寻找快速又便利。 ·具有手动/自动光强度调整功能以取得最佳的干涉条纹对比。 ·具有高精度的PVSI与高速的VSI扫描量测模式供7选择。 ·具有专利的解析算法则，可处理半透明物体的3D形貌。 ·具有自动补点功能。 ·可自行设定扫描方向。

专业级的3D图形处理与分析软件（PostTopo） ·提供多功能又具亲和接口的3D图形处理与分析。 ·提供自动表面平整化处理功能。 ·提供阶高标准片的软件自校功能。 ·深度/高度分析功能，提供线型分析与区域分析等两种方式。 ·线型分析方式提供直接追溯ISO定义的表面粗糙度（roughness）与起伏度（waviness）的量测分析。可提供多达17种的ISO量测参数与4种额外量测数据。 ·区域分析方式提供图形分析与统计分析。具有平滑化、锐化与数字滤波等多种二维快速傅利叶转换（FFT）处理功能。 ·量测分析结果以BMP等多种图形档案格式输出或是以Excel文本文件格式输出。

机台规格： 型号 SWIM1510MS
系统配备 显微镜、扫描控制器、移动平台、取像单元、个人计算机
显微镜 单眼显微镜（标准配件）
干涉物镜（选配） 放大率 视野（mm） 光学分辨率（μm）
10× 0.5 1.12
20× 0.25 0.84
50× 0.1 0.61
影像缩放 1.0×（标准）0.5×（选配）
垂直扫描控制器 扫描范围 100μm（400μm，选配）
扫描分辨率 0.1nm
扫描模式 自动
光强度调整 自动/手动
扫描速度 12μm/s（最快）
样品移动平台 X-Y平面移动平台 150mm×100mm，手动（标准配件）
Z轴移动平台 80mm，手动（标准配件）
位置数字显示单元 三轴光学尺与三轴数字显示器（分辨率1μm）
偏移调整工作台 手动
取像单元 影像传感器 面型CCD（标准配置）
传感器分辨率 640×480像素（标准配件）
计算机配备 Pentium-computer，17″LCD Monitor，120GB以上硬盘机
分析软件 MS-Windows兼容的数据攫取与分析软件，包含ISO粗糙度/阶高分析，快速傅利叶转换和滤波，多样的2D和3D观测视角图，外形分析，图像缩放，标准影像档案格式转换等等。
阶高标准片（选配） 50nm、170nm、230nm、470nm、1800nm

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