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最新产品 > 计量仪器 > 表面测量仪器 > 台阶仪>Bruker 探针轮廓仪(台阶仪) DEK...

更新时间:2024-04-08 05:57:40 点击:410次

产品型号 DEKTAK 8
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 台阶仪
品牌 返回顶部 Bruker
产地 返回顶部 美国
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技术参数
测量精度 返回顶部 7.5Å,1σ在1um标准台阶上
测量范围 返回顶部 扫描长度范围:标配最大50mm 垂直范围:标配262um;可选1mm
最大工件尺寸 返回顶部 200mm
最大工件厚度 返回顶部 25.4mm (1 in.)
其他信息
产品简介

仪器简介:

Dektak 8台阶式探针轮廓仪,结构紧凑,可提供很高的重复性和精度。独特的X–Y方向定位系统可移动到8 x 8 inch区域的任何位置。它不仅能测量台阶高度和表面纹理,还能测量金属蚀刻速率的均匀性、焊点高度、纤维光学元件和显微透镜。全程程序控制的Dektak 8系统对于MEMS,纳米技术和半导体应用都非常方便。


技术参数:

台阶高度重复性: 7.5Å,1σ在1um标准台阶上
最大晶圆尺寸:200mm
最大样品厚度:25.4mm (1 in.)
每次扫描数据点:最多可达60,000数据点
扫描长度范围:标配最大50mm
垂直范围:标配262um;可选1mm
最大垂直分辨率:1Å (6.55微米垂直范围下)

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技术创新 1. 台阶高度测量重复性高 2. 是功能最为强大的探针轮廓仪,可最大限度的满足各种应用需要 3. 简单易用 4. 作为一款桌面型轮廓仪,扫描范围可达200mm
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