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最新产品 > 计量仪器 > 表面测量仪器 > 台阶仪>KLA-Tencor 探针式台阶仪 Profile...

更新时间:2024-04-20 20:20:59 点击:578次

产品型号 Profiler
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 台阶仪
品牌 返回顶部 KLA-Tencor
产地 返回顶部 美国
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技术参数
测量精度 返回顶部 6.0A (1σ)或0.1%
分辨率 返回顶部 亚埃级
其他信息
产品简介

仪器简介:

应用:
◆薄膜厚度测量;
◆样品表面形貌测量;
◆薄膜应力测量;
◆样品表面粗糙度/波纹度测量;
◆样品表面三维形貌测量等。


技术参数:

KLA-Tencor先进的探针式台阶仪,可精确测量纳米级至2毫米台阶高度,并可分析薄膜表面粗糙度、波纹度、应力,集高测量精度、多功能性和经济性于一体,是生产线及材料分析等应用领域的理想选择。因其具有6.0A (1σ)或0.1%台阶高度重复性以及亚埃级的分辨率,是目前商业化仪器里(经市场验证)最高精度的台阶仪产品。

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应用范围 返回顶部此仪器尚未有相关应用
用户数 返回顶部 此仪器尚未有用户数
技术创新 ◆Alpha-Step IQ采用天然金刚石作为探头,经久耐用。探针更换简便、快速,软件具有保护测针以免发生损坏功能; ◆探针扫描是双向的,即可以从左向右,又可以从右向左; ◆无论何时只要测针下伸的时间超过 60 秒,但仍然没有开始扫描,测针将自动升起; ◆当测针达到其测量范围的上限时,测针自动缩回,扫描终止;(备注:当测针达到其上限时,屏幕上的迹线停止上升,而变为水平); ◆为了安全起见,可以用程序设置升降器,使其仅可以降低到一个预设的限制; ◆可为用户提供中文操作界面,可以提供官方中文操作手册; ◆软件界面友好,简单易学,功能强大。
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