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最新产品 > 计量仪器 > 表面测量仪器 > 台阶仪>AMBIOS TECHNOLOGY公司 台阶仪 XP-...

更新时间:2024-03-29 10:43:59 点击:7572次

产品型号 XP-2
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 台阶仪
品牌 返回顶部 AMBIOS TECHNOLOGY公司
产地 返回顶部 美国
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技术参数
测量范围 返回顶部 400um
测量精度 返回顶部 10À
分辨率 返回顶部 1À@10um,15À@100um,62À@400um
其他信息
产品简介

性能指标:
(1)最大扫描长度50mm(线性),最大采样点数60000,探针压力范围0.05-10mg。
(2)彩色摄像头带变焦。
(3)最大样品厚度1.25”,最大垂直测量范围:400um,垂直分辨率:1À@10um,15À@100um,62À@400um。
(4)样品运动XY范围150*150mm(马达驱动),保证10À重复性(大约1um台阶高度,10次测量,1标准偏差)。
(5)薄膜应力测试软件,三维测量软件。 
 
应用范围: 可用于测量轮廓、台阶高度、膜厚、薄膜应力,表面粗糙度计算,刻蚀分析,用于控制各种薄膜的生长工艺,各种符合尺寸的薄膜样品均可测试。物理、表面、材料、光电子器件、半导体器件、薄膜工艺、厚膜工艺、光学元件及系统的必备表征方法。

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