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最新产品 > 物理分析仪器 > 显微镜及图象分析仪器 > 原子力显微镜>Park Systems 原子力显微镜 XE-...

更新时间:2024-04-23 04:22:41 点击:391次

产品型号 XE-100
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 原子力显微镜
品牌 返回顶部 Park Systems
产地 返回顶部
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技术参数
分辨率 返回顶部 同步自动采集16幅图像,分辨率高达4096×4096像素
扫描范围 返回顶部 50µm×50µm(闭环),可选配100µm×100 µm(闭环)
移动范围 返回顶部 25mm×25mm(X/Y),27.5mm (Z)
样品尺寸 返回顶部 100mm×100mm
数据传输 返回顶部 采用基于TCP/IP协议的通讯方式与计算机联接
其他信息
产品简介

  XE-100是Park Systems的旗舰产品。该产品可以实现精确的纳米计量和无损检测。新增的多区域自动扫描功能,更是极大的提高了检测效率。该系统可广泛的应用于材料科 学、聚合物、电化学等诸多领域。近年来,Raman HR-800和XE-100的联合系统更是帮助VLSI开拓出了对100纳米以下硅微结构进行机械性能分析的新天地。

标准工作模式:
 真正非接触模式(True non-contact mode)
 接触模式(contact mode)
 相位模式(phase imaging)
 横向力模式(LFM)

扩展工作模式:
 力测量(Force measurements)
 导电(Conductive AFM)
 电力(Electric Force)
 电子 (Electrical)
 磁性 (Magnetical)
 机械 (Mechanical)
 热 (Thermal)


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技术创新 一、 计量精确 XE系列AFM彻底消除了球面误差,因而具备了实现精确纳米计量的能力。 二、 扫描器线形度高,直角正交 XE系列AFM采用了柔性扫描器最大限度减小了X和Y扫描运动的交叉耦合,并且通过位移传感器及时进行反馈控制,这就有效保证了扫描的准确度和精度。 三、 非接触式扫描 可真正实现非接触式扫描是Park AFM最显著的技术优势。采用这一模式扫描时,针尖和样品间距可以保持在几个纳米,在避免针尖磨损的同时提高了成像质量。 四、 CrN样品测试结果 CrN样品具有点状尖锐的特点,是常用的AFM探针性能测试样品。如采用轻敲模式进行扫描,10次后图像质量就因针尖磨损而明显下降。在非接触扫描实验中,扫描100次后图像细节依然清晰,证明针尖没有受到损伤。
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