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最新产品 > 化学分析仪器 > 质谱仪 > 二次离子质谱>Kore 二次离子飞行时间质谱 Su...

更新时间:2020-08-12 04:29:30 点击:21386次

产品型号 SurfaceSeer
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 二次离子质谱
品牌 返回顶部 英国Kore
产地 返回顶部 英国
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技术参数
其他信息
产品简介 由 Kore 公司设计并制造的一款新的紧凑型 TOF-SIMS 仪器,为工业用户提供了一种强有力的表面分析工具,其费用大约是高端研究型仪器的五分之一。该仪器有正离子和负离子 TOF-SIMS 两种模式,质量分辨率为1000,质量准确度为±10 毫amu。
 
概述
最初,有一些工程师和科学家对现有的商品化SIMS仪器不满意,于是,Kore 的TOF-SIMS应运而生,其目的是使仪器易于使用并能快速采集数据。他们很清楚,表面分析对开发产品非常有益,但他们并不是从纯理论的学术界来的,因 为他们既难以申请到研究经费也不想浪费有限的研究时间。他们的主要目的是快速高效的分析样品,并获得样品或产品表面化学方面特殊问题的答案。

SurfaceSeer 正是为这类客户而设计的。
Kore 一直以来都致力于研发“低成本”飞行时间质谱仪(TOF-SIMS),如几年前开发的知名仪器 MS-1000。SurfaceSeer 是由之前的仪器发展而来,但拥有更强的分析能力。
样品被置于在一个小体积的密封室内,并在 5 分钟内被真空泵降压至操作压力,然后向前做简单推动并90°旋转,样品便进入样品分析室。
聚合物和复合材料的典型分析时间为 1-2 分钟,之后便获得一个有 50 万计数 (信号) 的质谱图(聚合物分析时间取决于样品种类,越易产生信号的样品,如:金属或半导体,信号率越大)。
5kV 的气体离子枪具有扫描功能,外加一个具备成像能力的二次电子探测器和成像软件/硬件模块。通常,脉冲探针在 400 μm 到 1 mm 之间变化,可快速获得数据(高电流)。样品放在样品固定器内,以便被分析的样品面积正好在一个直径为 6mm 的盖板中心位置。

不象研究型 TOF-SIMS 仪器,SurfaceSeer 的分光计调谐都在电子装置里预设了,样品到样品的调谐简化为电压调节,实时反馈最大计数率。

仪器详细介绍
初级离子枪
仪器采用 5keV 惰性气体(Ar+)的脉冲离子束,脉冲离子束可以将样品表面损坏降至最低。在每 128 μs 的TOF 循环中,枪的脉冲时间仅为140 ns,因此,脉冲离子束产生的电流比连续式离子束小 10,000 倍。典型的1 分钟实验里,初级离子束产生 3x1011 到 1x1012 离子/cm2 的离子剂量 (取决于聚焦情况和电流)。尽管离子剂量低,但 TOF 分析仪效率却非常高,这是因为二次离子产生率高(即使是离子信号率低的聚合物,通常也可以产生 5000 c/s 的离子剂量)。
必要时,可把初级离子流能增强,离子枪持续开启,对样品进行喷射清洗。

延迟提取
仪器还采用了 “延迟提取” 技术以更好的获得二次离子的分辨率。在这个技术中,初级离子对表面进行轰击,产生具有分析作用的重要二次离子。在初级离子束轰击样品表面完成后很短时间 内,离子提取场脉冲开启。 结果不仅提取了二次离子,还在二次离子从分析器到检测器的运动过程中对其进行了浓缩富集。某些TOF-SIMS仪器是把初级离子束被压缩或“成束”,但我 们的仪器是将二次离子成束的。“延迟提取” 技术是为了相同质荷比的二次离子能瞬间聚焦,以便得到更好的质量分辨率,而这些都是长时间初级离子脉冲做不到的。

电荷中和
使用脉冲离子束和延迟提取相结合的好处之一是,当没有离子场时,每个 TOF 周期会比较长。在此期间,低能量(30eV)的脉冲电子直接进入分析区域,中和绝缘体表面聚集的正电荷。这些正电荷是初级离子束轰击绝缘体表面时所产生的。

TOF 分析器
仪器带有一个 150 mm 直径的反射器,总有效飞行距离为 2 米(包括飞行管的长度)。 这是一个具有高真空精密电阻的双斜率反射器,并具有可调 “延迟” 电势,是为最佳光谱性能而设的反射器。

真空泵
仪器用一个单机架固定式真空控制器来控制真空系统。 涡轮分子泵用于维持分析室和真空进样室的真空,每个都由二级旋转泵支撑。 真空进样室的排出.真空进样室和泵取,都是通过控制器上的一键式按钮实现的。高真空表(逆向磁控管)时时监测分析室的压力,用于真空联锁保护,如果压力高 于设定值,将关停高电压。
扩展功能
目前仪器可以增加以下功能:
1.    带多样品固定器的线性运动平台允许在每次进样时进行多样品分析
2.    外照明光学显微镜/照相机
3.    成像 SIMS 带有 SED 探测器/ PC卡和升级版本软件
4.    能在真空进样室处理样品



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技术创新 SurfaceSeer是一款静态二次离子质谱,一次离子量较少,每次一次离子都轰击一个新的位置,有限数量的二次离子从样品表面被激发出来,使我们获得有效的分子信息;同时采用了TOF检测器,平行检测和离子传送效率高,因此可以得到更多信号
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