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更新时间:2024-03-26 03:09:25 点击:5295次

产品型号 MFP-3DTM
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 原子力显微镜
品牌 返回顶部 Asylum Research
产地 返回顶部 美国
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技术参数
其他信息
产品简介
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技术创新 1.专利的三轴向闭循环纳米定位系统(NPS ,Closed Loop in All Three Axes for Accuracy and Precision)
这是MFP-3D系统的技术核心.其采用XYZ三轴向坐标感应器,利用最新的,专利的低嗓音纳米定位系统具有很高的定位精度.NPS 各轴向闭循环定位,可最大限度减少噪音,校正滞后位置偏差.各项参数如下:
在1000赫兹频宽下,Z轴向的绝对偏差<0.3nm,X,Y轴向的绝对偏
差<0.6nm.其中,X,Y轴水平扫描范围达100m,Z轴达16m,
其高度噪音<0.03nm.
严格采用美国国家标准局(NIST)的干涉仪校正VLSI标准,
是世界尖端的纳米仪器(每一出厂的NPS感应器都是严格按此标
准校正和检测).
2. 扫描模式
MFP-3D采用标准的液态和气态扫描方式,包括:Q控制功能,相位,振幅,侧向力等多种工作方式,用户可按自己的需求选择各种模式的扫描探针.
MicroAngelo具有标准的高级纳米微影蚀刻以及纳米控制功能,无需额外增加软硬件.
3. 独特的光学杠杆设计可最大限度消除光线干涉
MFP-3D系统悬臂式感应器采用独特的光学杠杆原理,可最大限度消除悬臂感应器和样品的反射激光产生的光线干涉.MFP-3D采用新颖的光路设计,限制的光学衍射,低相干光源等都可有效的消除干涉边缘,提供最高灵敏度光学检测.
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