分子泵 LOW-E 生产线抽真空
2022-01-13 15:02:39 伯东企业（上海）有限公司 发布
Pfeiffer 分子泵在LOW-E（低辐射玻璃）生产线中的应用
LOW-E全名Low emissivity，是低辐射镀膜玻璃。相对热反射玻璃而言是一种新型节能玻璃。目前国际上普遍采用真空磁控溅射镀膜技术（离线法）生产Low-E玻璃。伯东公司销售的德国普发 Pfeiffer 分子泵成功应用于此。
原理：玻璃垂直放置在架子上，送入10-1帕数量级的真空环境中，通入适量的工艺气体（惰性气体Ar或反应气体O2、N2），并保持真空度稳定。将靶材Ag、Si等嵌入阴极，并在与阴极垂直的水平方向置入磁场从而构成磁控靶。以磁控靶为阴极，加上直流或交流电源，在高电压的作用下，工艺气体发生电离，形成等离子体。其中，电子在电场和磁场的共同作用下，进行高速螺旋运动，碰撞气体分子，产生更多的正离子和电子；正离子在电场的作用下，达到一定的能量后撞击阴极靶材，被溅射出的靶材沉积在玻璃基片上形成薄膜。为了形成均匀一致的膜层，阴极靶靠近玻璃表面来回移动。为了取得多层膜，必须使用多个阴极，每一个阴极均是在玻璃表面来回移动，形成一定的膜厚。
德国普发 PFEIFFER 凭借其120多年的真空制造经验和全球范围内的售后服务和技术支持赢得LOW-E市场客户的青睐，德国冯.阿登纳(VON ARDENNE)是最典型的客户。PFEIFFER 分子泵的LOE-E生产线使用在信义玻璃，南玻等中国玻璃制造巨头。
Pfeiffer 分子泵优点：
- 多抽速供客户选择，抽速为1,000至2,000L/S
- 对于H2,He和Ar,CF4有高的抽速
- 安装位置从0到90度，90到180度
- 高的气体流通量，即使是Ar,CF4
- 集成的TC 1200驱动单元可直接连接电源
- 抗腐蚀能力供选择
- 丰富的接口界面：RS-485以及远程控制；profibus或者Devicenet可供选择
- 拥有IP 54和Semi S2 等级
- 稳定安全的转子轴承系统
- 符合UL,CSA以及TUV认证
- 简单的安装
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