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最新产品 > 化学分析仪器 > 质谱仪 > 离子探针>Millbrook 小型二次离子质谱仪 Min...

更新时间:2024-03-07 06:05:10 点击:1903次

产品型号 MiniSIMS alpha/TOF
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 离子探针
品牌 返回顶部 Millbrook
产地 返回顶部 英国
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技术参数
灵敏度 返回顶部 >5E3cps/nA
真空度 返回顶部 高真空 10-8Pa, 10-6mbar
其他信息
产品简介

仪器简介:

Millbrook公司的MiniSIMS在一个紧凑的台式仪器中开发了SIMS技术。仅需一个标准的主电源,它可以放置在任何最需要放置的位置。 完全的计算机控制使得MiniSIMS操作简便并且可以自动采集数据。因特网的远距离控制意味着可移动的SIMS是目前的理想选择。

MiniSIMS使得很多情况下室内表面分析仪器成为一种经济适用的解决方案。这种分析方法比求助于SIMS分析实验室的合同测试更快,更方便。低成本和维护费用,以及高样品量,保证了单位样品的总成本比使用传统的SIMS仪器减少了90%。

MiniSIMS系列的入门级仪器是MiniSIMS alpha。这种热销的仪器,非常适合测定样品的特定性质。按照已知标准进行质量监控,或者研究以及工艺优化中的多样品比较分析方面,该仪器非常高效。这 种情形下,预置的分析条件意味着很多不同的操作者能够获得重复性的数据。通常每个样品的分析时间短至5分钟。

飞行时间质谱仪的引入使得MiniSIMS的性能跃升到一个新的水平。对未知样品的测定像测量已知组成那样简单,该功能使得MiniSIMS ToF尤其适合研究性应用。在失效分析中,比如污染鉴定,附加的细节能够准确地查明问题的确切原因。

仪器参数:

型号:     MiniSIMS alpha    
样品尺寸:12.5mm或100mm    
真空度:高真空 10-8Pa, 10-6mbar   
质谱:     四级杆
离子束:6kVGa
绝缘样品分析:辅助电子束    
质量数范围:300daltons    
质量下限:3
质量分辨率:dm=1(指质谱图中,谱峰相邻的两种物质的质量数差值dm的最小值为1,如果质量数差值小于1,则无法分辨。
灵敏度Mo/MoO: >5E3cps/nA。
横向分辨率:导体10µm 绝缘体50µm 
纵向深度: 500nm深度 >1E3动态范围
深度分辨率:对于表层薄膜掺杂物探测极限:ppm    
分析模式:静态、动态、成像SIMS
样品装载时间:标准样品 < 3 minutes 大样品< 15 minutes    
视场:4.5 mm x 4.5 mm
一次测量离子种类:每次只收集质量数为某一数值的离子
成像时间:30秒    
一次装载样品数量:标准1,选件31    

型号:MiniSIMS TOF
样品尺寸:12.5mm或100mm
真空度:高真空 10-8Pa,10-6mbar
质谱:飞行时间
离子束:6kVGa
绝缘样品分析:辅助电子束
质量数范围:>1200daltons
质量下限:1(氢)
质量分辨率:m/dm=650(指质谱图中,谱峰相邻的两种物质的平均质量数m与两质量数差值dm之间的比值。该值是从测量到的Al元素与乙烯基C2H3基团的质谱中得到的值,两者的质量数整数部分都是27,小数部分不同。)
灵敏度Mo/MoO:>5E3cps/nA
横向分辨率:导体10µm 绝缘体50µm
纵向深度:500nm深度 >1E3动态范围
深度分辨率:对于表层薄膜<1nm,对于埋置层10-20nm
掺杂物探测极限:ppm
分析模式:静态、动态、成像SIMS
样品装载时间:标准样品 < 3 minutes 大样品< 15 minutes
视场:4.5 mm x 4.5 mm
一次测量离子种类:同时收集所有二次离子
成像时间:30秒
一次装载样品数量:标准1,选件31

应用范围及优势:
单层表面信息
全元素检测
有机物质鉴定
高灵敏度分析
快速成分影像
薄膜纵切片
台式设计、移动便捷
经济实用、操作简单

 

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技术创新 MiniSIMS一个主要的特征是对表面的局部区域进行原位分析(静态SIMS)。仅需数秒(而非数分钟),扫描聚焦探测光束(成像SIMS)生成一个表面成分图。随后的分析通过顺序的刻蚀表面而显示表层下面变化的组成(动态SIMS)。所有这些可在只需少量或不需任何样品制备的情况下操作成功,并且灵敏度高,分析时间最少。 MiniSIMS另外一个主要特征是其对操作人员的要求-----实验室技术人员,不需要专业的技术人员进行维护和管理。
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1楼:个人(qianym)
只需少量或不需任何样品制备的情况下操作成功,并且灵敏度高,分析时间最少
评论于:2013-02-25 13:35:42