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氦质谱检漏工艺

一、内罐检漏（经冷冲击和气密试验合格后）

1、去处内罐可能残留的水份；

2、内罐组件上的引出管留一根管道连接真空泵以外，其余管道的端部均用不锈钢板材封闭焊接；

3、连接真空泵的管道焊接一个抽空阀门；

4、清洁内罐管组件外表面灰尘；

5、连接抽真空的真空泵和氦质谱检漏仪；

6、启动真空泵对内罐抽真空；

7、启动氦质谱检漏仪；

8、调整氦质谱检漏仪至备机状态；

9、先关闭抽空阀，检测抽空管路的密封性，仪器应无泄漏指示；

10、确认抽空管路无漏后，重新开启抽空阀，对内罐继续抽空，直至管内真空度基本稳定；

11、开始正式检漏前，应确定施氦的方法并作好准备（如采用喷氦法检漏，准备好氦气和喷枪。若是采用罩氦法检漏，应准备好罩袋或封带及其氦气供应管。）

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