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最新产品 > 物理分析仪器 > 其他物理分析仪器 > 白光干涉测厚仪>K-MAC 自动型薄膜测厚仪 ST5030-...

更新时间:2024-05-02 05:29:26 点击:529次

产品型号 ST5030-SL
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 白光干涉测厚仪
品牌 返回顶部 K-MAC
产地 返回顶部 韩国
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技术参数
应用领域 返回顶部 半导体、介质材料、平板行业等
测试厚度范围 返回顶部 100Å~ 35㎛(Depends on Film Type)
测量速度 返回顶部 1~2 sec./site
样品尺寸 返回顶部 4~12"
光斑尺寸 返回顶部 40㎛/20㎛,4㎛(option)
仪器重量 返回顶部 100Kg
仪器尺寸 返回顶部 500 x 750 x 650 mm
其他信息
产品简介 仪器简介:
·标准模型
·工业规格
·自动的X-Y平台
·自动调焦
·半导体和裂变产物探测

技术参数:
类型:自动
测量方法:非接触式
测量原理:反射计
活动范围:300mm x 300mm
测量范围:100Å~ 35㎛(Depends on Film Type)
光斑尺寸:40㎛/20㎛,4㎛(option)
测量速度:1~2 sec./site (fitting time)
测量样品尺寸:4~12"  
物镜转换器 :Quintuple Revolving Nosepiecs
焦点: Coaxial Coarse and Fine Focus Controls
附带照明: 12v 100W  Tungsten-Halogen Lamp
尺寸:500 x 750 x 650 mm
重量:100Kg
可选项目 :
Reference sample(K-MAC or KRISS or NIST)
Anti-vibration table

应用领域:
半导体::Poly-Si, GaAs, GaN, InP, ZnS + Si, Ge, SiGe...
介质材料:SiO2, TiO2, TaO5, ITO, ZrO2, Si3N4, Photoresist, ARC,...
平板行业:(包括 LCD, PDP, OLED): a-Si, n+-a-Si, Gate-SiNx MgO, AlQ3, ITO, PR, CuPc, NPB, PVK, PAF, PEDT-PSS,  Oxide, Polyimide...
光学镀膜:硬度涂层、增反射薄膜,、Color Filters、封装和功能薄膜...
太阳能电池: Doping a-Si(i-type, n-type, p-type), TCO(ZnO, SnO, ITO..)
聚合物:PVA, PET, PP, Dye, Npp, MNA, TAC, PR...
Recordable materials: Photosensitive drum, Video head, Photo masks, Optical disk                                                     
其他:示波管上的光阻薄膜材料与掩膜板、金属薄膜、激光镜...
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技术创新 *测量迅速,操作简单 *非接触式,非破坏方式 *优秀的重复性和再现性 *2D/3D 绘制与曲面轮廓 *自动平台控制以及防震台 *CCD摄像头自动调焦
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