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最新产品 > 物理分析仪器 > 其他物理分析仪器 > 白光干涉测厚仪>德国Mikropack 薄膜厚度测量仪 ...
更新时间：2024-04-01 22:07:43 点击：3055次
| 产品型号 | NanoCal-2000 |
|---|---|
| 参考报价 | 返回顶部 面议 |
| 基本规格 | |
| 产品类型 | 返回顶部 白光干涉测厚仪 |
| 品牌 | 返回顶部 德国Mikropack |
| 产地 | 返回顶部 德国 |
| 返回顶部 我来纠错（有奖） | |
| 技术参数 | |
| 波长范围 | 返回顶部 250-1100nm |
| 测试厚度范围 | 返回顶部 10nm--250µm |
| 可测层数 | 返回顶部 1-- 4 |
| 准确度 | 返回顶部 <1% (100nm--100µm) |
| 重复性 | 返回顶部 0.3nm |
| 光斑尺寸 | 返回顶部 400µm (选配 25100/200µm) |
| 仪器重量 | 返回顶部 3.5 kg |
| 仪器尺寸 | 返回顶部 180mm x 152 mm x 263mm |
| 电源 | 返回顶部 12 VDC@1,2A, 220 VAC 50/60 Hz |
| 其他信息 | |
| 产品简介 |
仪器简介： NanoCal是一款功能强大的膜厚测量仪器。近几年，每年的销售量都超过200台（整个世界范围）。NanoCal根据型号不同，测量范围可以从10nm到250um，它最高可以同时测量多个膜层中的10个膜层厚度（其中一层为基底材料）。NanoCal可应用于在线膜厚测量、测氧化物、SiNx、感光保护膜和半导体膜。也可以用来测量镀在钢、铝、铜、陶瓷和塑料等上的粗糙膜层。 薄膜表面或界面的反射光会与从基底的反射光相干涉，干涉的发生与膜厚及折光系数等有关，因此可通过计算得到薄膜的厚度。光干涉法是一种无损、精确且快速的光学薄膜厚度测量技术，我们的薄膜测量系统采用光干涉原理测量薄膜厚度。 应用领域 理论上讲，我们的光干涉膜厚仪可以测量所有透光或半透光薄膜的厚度。以下为我们最熟悉的应用领域(半导体薄膜，光学薄膜涂层，在线原位测量，粗糙或弧度表面测量)： 晶片或玻璃表面的介电绝缘层(SiO2, Si3N4, Photo-resist, ITO, ...)； 晶片或玻璃表面超薄金属层(Ag, Al, Au, Ti, ...)； DLC(Diamond Like Carbon)硬涂层；SOI硅片； MEMs厚层薄膜(100µm up to 250µm)； DVD/CD涂层； 光学镜头涂层； SOI硅片； 金属箔； 晶片与Mask间气层； 减薄的晶片(< 120µm)； 瓶子或注射器等带弧度的涂层； 薄膜工业的在线过程控制；等等… 技术参数： 厚度测量：10纳米-250微米； 可以选择250nm-1100nm间任一波长，也可在该范围内选择多波长分析； 波长: 250-1100nm 厚度范围: 10nm--250µm 分辨率: 0,1nm 重复性: 0,3nm 准确率: <1% (100nm--100µm) 测试时间: 100ms -- <1s 分析层数: 1-- 4 (NanoCal-MS maybe required) 离光纤距离: 1-5mm 离镜头距离: 5mm-- 100mm 入射角度: 90° 光斑点大小: 400µm (选配 25100/200µm) 微光斑手段: 与显微镜联用,1-- 20µm with Microscope 10x/20x/50x Magnification and MFA-Adapter; 光纤长度: 2m (other lengthes on request) 接口: USB 1.1 (RS-232) 电源需求: 12 VDC@1,2A, 220 VAC 50/60 Hz 尺寸: 180mm x 152 mm x 263mm 总量: 3.5 kg 返回顶部 |
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| 技术创新 | NanoCal-2000系列薄膜分析仪厚度分析可以基于峰的数量，也可以基于峰的形状。我们可以使用平均折射因子或者使用Cauchy numbers进行全部分析。 1、可以测量多层膜中每一层的厚度 2、三维的厚度型貌 3、可做150mm or 300mm 的大范围的扫描测试 4、远程控制和在线测量 5、丰富的材料库：操作软件的材料库带有大量材料的n和k数据，基本上的常用材料都包括在这个材料库中。用户也可以在材料库中输入没有的材料。 6、软件操作简单、测速快：膜厚测量仪操作非常简单，测量速度快：100ms-1s。 7、软件针对不同等级用户设有一般用户权限和管理者权限。 8、软件带有构建材料结构的拓展功能，可对单/多层薄膜数据进行拟合分析，可对薄膜材料进行预先模拟设计。 9、软件带有可升级的扫描功能，进行薄膜二维的测试，并将结果以2D或3D的形式显示。软件其他的升级功能还包括在线分析软件、远程控制模块等。 返回顶部 |
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