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最新产品 > 物理分析仪器 > 其他物理分析仪器 > 白光干涉测厚仪>K-MAC 薄膜厚度测量仪 ST5000

更新时间:2024-04-22 07:52:00 点击:375次

产品型号 ST5000
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 白光干涉测厚仪
品牌 返回顶部 K-MAC
产地 返回顶部 韩国
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技术参数
应用领域 返回顶部 半导体,电解质,平板行业等
测试厚度范围 返回顶部 100Å~ 35㎛
测量速度 返回顶部 1~2 sec./site
光斑尺寸 返回顶部 40㎛/20㎛,4㎛(option)
其他信息
产品简介 仪器简介:
·标准模式
·工业规格
·自动机械X-Y活动
·自动调焦
·防震台

技术参数:
类型 :自动的
测量方法: 非接触
测量原理 :反射计
活动范围: ~300mm x 300mm
测量范围: 100Å~ 35㎛(Depends on Film Type)
光斑尺寸: 40㎛/20㎛,4㎛(option)
测量速度 :1~2 sec./site(fitting time)
应用领域 :半导体: Poly-Si, GaAs, GaN, InP, ZnS + Si, Ge, SiGe...
电解质: SiO2, TiO2, TaO5, ITO, ZrO2, Si3N4, Photoresist, ARC,...
平板行业:(包括 LCD, PDP, OLED, ): a-Si, n+-a-Si, Gate-SiNx MgO, Alq, ITO, PR, CuPc, NPB, PVK, PAF, PEDT-PSS, Oxide, Polyimide...
光学涂层:: 减反射膜, Color Filters...
太阳能电池 Doping a-Si(i-type, n-type, p-type), TCO(ZnO, SnO, ITO..)
聚合物: PVA, PET, PP, Dye, Npp, MNA, TAC, PR...
Recordable materials: Photosensitive drum, Video head, Photo masks, Optical disk
可选: Transmittance Module
               Reference Sample(K-MAC or KRISS or NIST)
接物镜旋转器: Quintuple Revolving Nosepiecs
焦点 :Coaxial Coarse and Fine Focus Controls
附带照明 :12v 100W Halogen Lamp


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技术创新 *测量迅速,操作简单 *非接触式,非破坏方式 *优秀的重复性和再现性 *2D/3D 映射和造型 *自动机械活动控制 *电荷耦合器件照相机 *自动调焦 *防震台
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