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更新时间:2024-04-18 20:20:26 点击:2883次

产品型号 F30系列
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 白光干涉测厚仪
品牌 返回顶部 美国Filmetrics
产地 返回顶部 美国
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技术参数
测试厚度范围 返回顶部 F30:15nm-100µm;F30-UV:3nm-40µm
准确度 返回顶部 误差低于±1%
波长范围 返回顶部 F30:380-1050nm;F30-UV:200-1100nm
其他信息
产品简介 监控薄膜沉积,最强有力的工具
F30光谱反射率系统能实时测量沉积率、沉积层厚度、光学常数 (n 和 k 值) 和半导体以及电介质层的均匀性。
样品层
分子束外延和金属有机化学气相沉积: 可以测量平滑和半透明的,或轻度吸收的薄膜。 这实际上包括从氮化镓铝到镓铟磷砷的任何半导体材料。

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应用范围 返回顶部此仪器尚未有相关应用
用户数 返回顶部 此仪器尚未有用户数
技术创新 极大地提高生产力 低成本 —几个月就能收回成本 A精确 — 测量精度高于 ±1% 快速 — 几秒钟完成测量 非侵入式 — 完全在沉积室以外进行测试 易于使用 — 直观的 Windows™ 软件 几分钟就能准备好的系统
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